概況：具有短波、中波及長波激發(fā)發(fā)光，可用于分析缺陷產(chǎn)生的深度。本功能適用于擴(kuò)散后的樣品。短波波長：360nm—400nm；中波波長：520nm—560nm；長波波長：650nm—850nm；軟件功能：1、圖像增強(qiáng)功能獲得PL圖像之后，軟件可通過圖像增強(qiáng)算子，使缺陷區(qū)域?qū)Ρ榷忍岣�，讓一些容易被忽略的缺陷顯示更明顯。
2、缺陷區(qū)域自動選中
軟件通過邊緣算子，可將需要缺陷區(qū)域輪廓自動選中。
